Product Info

1.고속 스트로크

펌프 스트로크의 고속화(최대 240 spm)에 의해 소형/경량/저비용화를 실현함과 동시에 맥동의 저감을 꾀하였습니다.

2.오염 발생이 없는 설계

접액부에는 모두 불소 수지를 채용. 펌프 외주부도 불소 수지 코팅을 하는 등 금속 노출이 없는 설계입니다.
또한, 독자 개발된 샤프트 씰(특허)의 채용으로 파티클의 발생이 한층 적어졌습니다.

3.광범위한 액온 범위/고압 토출

액온 범위는 5~180℃, 토출 압력은 최대 0.45 Mpa까지 가능하기 때문에 세정 프로세스 및 CMP 프로세스는 물론 약품 공급 프로세스에서도 사용 가능합니다